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电子行业水质标准

中国电子行业超纯水国家标准

指 标 名 称

一 级 水(EW-1)

二 级 水(EW-2)

电阻率MΩ.CM. (25℃)

18(95‰时间)不低于17

15(95‰时间)不低于13

硅   ≤μg/L

2

10

>1μm 微粒数

0.1

5

细菌个数 ≤个/ml

0.01

0.1

铜   ≤μg/L

0.2

1

锌   ≤μg/L

0.2

1

镍   ≤μg/L

0.1

1

钠   ≤μg/L

0.5

2

钾   ≤μg/L

0.5

2

氯   ≤μg/L

1

1

硝酸根  ≤μg/L

1

1

磷酸根  ≤μg/L

1

1

硫酸根  ≤μg/L

1

1

总有机碳 ≤μg/L

20

100